Pasternack博客
射频/微波基板及基底材料简介
术语“基板”可能会在某种程度上混淆射频/微波设备、组件和应用的上下文。基板通常可以是用于显影半导体或薄膜(厚膜或薄膜电路或组件)的绝缘材料,也可以是印刷电路板(PCBs)的结构材料。这些电绝缘材料是几乎所有射频/微波电子设备的基础,因此在设备、组件、集成电路、印刷电路板、组件和大多数射频/微波系统的构建中至关重要。
然而,一般来说,当提到射频/微波基板时,有硬基板或软基板。硬基板也称为基底材料,是用于开发半导体、器件、组件或薄膜的某种陶瓷或绝缘体,但也可用于制造更大的器件,如放大器托盘。软基板,或简称微波基板,通常是用于开发射频/微波印刷电路板的材料。
关键参数
不管名称如何,射频/微波基板均具有几个关键的电气和机械特性,这些特性决定了它们在特定应用中的适用性。这包括介电性能、耗散(损耗角正切)、表面的物理粗糙度、热导率以及绝缘材料承受高电压的能力(介电强度)。重要的是要注意,某些材料,如氮化镓、蓝宝石和二氧化钛是电各向异性的,这意味着材料的介电常数取决于电场相对于材料3D矩阵的晶体轴的确切方向。这可以是平行的(∥)或者垂直的(⟂)。
介电常数
介电常数或者相对介电常数,是相对于室温下空气的介电性能的量度。介电常数决定了穿过材料的电场行为,并且是频率的函数。对于高频应用,低电介质是比较理想的,因为这样可以最大限度地减少走线和导电结构之间产生的寄生电容。这个因素也决定了平面结构的几何形状,如微带线、带状线传输线和天线。因此,可以在具有较低介电常数值的材料上形成更紧凑的结构。
损耗角正切
介电损耗角正切,或称耗散因子,是材料内部吸收并作为热量耗散的电磁能量的量度。可以理解,具有低损耗正切的材料对于高性能和高功率应用是理想的,因为这将使传输线内或沿结构的损耗量最小化。材料的损耗角正切也是频率的函数。
表面粗糙度
材料的表面粗糙度是衡量表面光滑程度的标准。对于某些应用,需要精确的表面粗糙度,如果表面太光滑或太粗糙,都会导致材料性能下降。这通常与沉积在材料上的层的粘附特性和分辨率有关。
导热性
导热率是衡量一种材料通过其体积传导热量的能力。对于大功率应用,这是一个极其重要的特性,因为基板通常用于分离功率器件和散热器的导电基底。在这些情况下,导热性差的基板可能会大大降低叠层的整体导热性,并限制器件的性能。
介电强度
该参数是开始从电介质材料剥离电子器件所需的电场强度的标准。对于高电压和高功率应用,这是一个重要参数,因为这可能是器件工作的限制因素。
常见的射频和微波基板和基底材料(硬基片和软基片)的介电和材料特性 |
材料 | 10 GHz时的介电常数 | 10 GHz时的损耗角正切(10e4 tan) | 表面粗糙度(um) | 热导率 | 介电强度(kV/cm) | 软基底
或硬基底 |
(W/mK) | ||||||
氧化铝(Al2O3) | 9.9 | 1-2 | 0.05-0.25 | 30-37 | 4000 | 硬基底 |
氮化铝 | 8.9 | 3-5 | 0.05-0.6 | 150-170 | 150 | 硬基底 |
氧化铍(BeO) | 6.6 | 1 | 0.05-1.25 | 250-330 | 100-140 | 硬基底 |
砷化镓(GaAs) | 12.85 | 6 | 0.025 | 30 | 350 | 硬基底 |
氮化镓 | 9.5/10.4 | – | 0.025 | 66-225 | 4000 | 硬基底 |
玻璃(典型) | 4-7 | 1 | 0.025 | 0.8-1.2 | 350 | 硬基底 |
铁氧体/石榴石 | 13-16 | 2 | 0.25 | 3 | 120 | 硬基底 |
磷化铟(InP) | 12.4 | 10 | 0.025 | 40 | 350 | 硬基底 |
石英 | 308 | 1 | < 0.001 | 2 | 200-400 | 硬基底 |
低温冷烧陶瓷(LTCC) | 7.8 | 15 | 0.22 | 30 | 400 | 硬基底 |
蓝宝石 | 9.0/11.6 | 0.4-0.7 | < 0.001 | 23-25 | 4×10^3 | 硬基底 |
硅(Si) | 11.9 | 10-100 | < 0.001 | 100-150 | 300 | 硬基底 |
碳化硅(SiC) | 10.8 | 20 | < 0.001 | 120-200 | 2.5×10^3 | 硬基底 |
二氧化钛(TiO2) | 90/170 | 18295 | 0.25-2.5 | 7.4/10.4 | 40-80 | 硬基底 |
Duroid 5870 | 2.33 | 12 | – | 0.26 | – | 软基底 |
Duroid 5880 | 2.2 | 12 | – | 0.26 | – | 软基底 |
Duroid 6002 | 2.94 | 12 | – | 0.44 | – | 软基底 |
Duroid 6010 | 10.2-10.8 | 27 | – | 0.48 | – | 软基底 |
Duroid R/flex 3700 | 2 | 20 | – | – | – | 软基底 |
Duroid RO3003 | 3 | 13 | – | 0.5 | – | 软基底 |
Duroid RO3006 | 6.15 | 25 | – | 0.61 | – | 软基底 |
Duroid RO3010 | 10.2 | 35 | – | 0.66 | – | 软基底 |
Duroid RO4003 | 3.38 | 27 | – | 0.64 | – | 软基底 |
Duroid RO4350B | 3.48 | 40 | – | 0.62 | – | 软基底 |
TMM 3 | 3.27 | 20 | – | 0.7 | – | 软基底 |
TMM 4 | 4.5 | 20 | – | 0.7 | – | 软基底 |
TMM 6 | 6 | 23 | – | 0.72 | – | 软基底 |
TMM 10 | 9.2 | 22 | – | 0.76 | – | 软基底 |
TMM 10i | 9.8 | 20 | – | 0.76 | – | 软基底 |
CuFlon | 3.05 | 30 | – | . 025 | – | 软基底 |
CLTE | 2.94 | 0.0025 | – | 0.5 | – | 软基底 |
FR-4 | 4.5-4.8 | 220 | ~6 | 0.16 | – | 软基底 |
N7000-l | 2.94 | 0.0025 | – | 0.25<=Tc<=0.5 | – | 软基底 |
Norclad | 3.8 | 11 | – | 0.23 | – | 软基底 |
聚酰亚胺 | 2.3-13.4 | 50 | – | 0.04-1.7 | – | 软基底 |
聚四氟乙烯(特氟龙) | 3.05 | 30 | – | 0.25 | – | 软基底 |
TacLamPlus | 2.1 | 0.0004 | – | 0.25 | – | 软基底 |